先锋泰坦携手德国Crylas 推出单频连续深紫外266nm 200mW高功率激光器中国区样机

2026-07-01 09:29:12 0

  /朝闻通/近日,先锋泰坦正式启动德国 Crylas FQCW266 系列 266nm 单频连续波全固态激光器全国巡回演示活动,现已全国开放 FQCW266-200 型号 200mW 深紫外稳频激光器样机演示,面向半导体、光学科研、精密计量领域客户开放现场样机测试、上门试用服务,助力用户完成方案验证与工艺评估。

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  品牌背景:德国 CryLas 深耕深紫外激光领域,先锋泰坦

  德国 CryLaS GmbH 总部坐落柏林,深耕微片技术全固态激光器研发制造,拥有多项国际专利(DE10339210B4、US7027209B2 等),产品线覆盖 213/266/355/532/1064nm 脉冲 / 连续光源,是全球窄线宽深紫外连续激光标杆厂商。

  先锋科技公司作为德国CrylaS公司全球明星代理商,搭建全国本地化技术服务网络,为国内客户提供设备供应、现场演示、技术调试一体化支持。

  FQCW266 系列核心技术特点

  本次选用FQCW266-200中等功率型号用于巡回演示既可满功率输出用于验证晶圆检测,紫外光刻全息与计量;也可利用标配的10%-100%功率调节功能演示PL光谱激发,紫外拉曼。凭借多项专利技术(专利号:DE10339210B4、US7027209B2等),在性能上具有显著优势。

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  • 单纵模、窄线宽:线宽<300>1000米,远超同类产品水平;

  • 全密封设计:无需现场调整内部光学元件,实现真正的“即插即用”;

  • 高光束质量:TEM₀₀模,M²<1.3.接近衍射极限;

  • 低噪声:强度噪声<1% RMS,功率稳定性<2% @ 8小时;

  • 传导冷却:无需水冷,降低系统复杂度;

  • 工业级可靠性:支持24/7连续工业运行;

  • 长使用寿命:266nm深紫外四倍频晶体具备电动移点机构,使得整机可达万小时工作寿命;

  • 多种功率型号:266nm深紫外稳频激光器提供10mW到1200mW多种功率型号。

  FWCW266-200 型号激光参数:

  光学参数:

  • 波长:266±0.2 nm;

  • 标称平均功率输出:200± 5 mW;

  • 平均功率可调范围:20 mW to 220 mW;

  • 激光线宽:<300 kHz;

  • 相干长度:>1000 m;

  • M² 因子:<1.3.TEMoo;

  • 偏振度:Vertical,>100:1;

  • 光束直径:0.6±0.1 mm;

  • 发散角:<0.8 mrad;

  • 静态对准公差:Lateral±0.25 mm|Angular±2.5 mrad;

  • 点对点光束指向偏差:±360 μrad;

  • 光束指向稳定性:<3 μrad/K|<3 μrad/h;

  • 功率稳定性(预热后8小时内每秒采样2次):<0.3%rms。

  电子参数:

  • 能耗 标准(最大):<100 W(160 W);

  • 电源需求:85-264 VAC(47-63 Hz);

  • 计算机接口:USB|RS232;

  • 激光防护:Key Switch |Interlock。

  其他:

  • 预热时间 标准(最大):15 min(30 min);

  • 工作温度 (激光头):20-35℃ 非结露;

  • 激光头尺寸:91×270×379  mm³(HxW×L);

  • 激光电源尺寸:42×165×164  mm³(H×W×L);

  • 激光头重量:14.7 kg;

  • 激光电源重量:1.0kg。

  多领域落地应用场景

  凭借 266nm 深紫外短波长、高光子能量、高相干特性,该系列激光器可适配多类高端精密场景:

  • 半导体产业:晶圆无图形缺陷检测、掩模质检、深紫外光刻工艺开发;

  • 光纤与微纳加工:FBG 布拉格光纤光栅刻写;

  • 材料科研:宽禁带半导体 PL 光致发光光谱激发、深紫外拉曼光谱测试;

  • 精密光学计量:深紫外全息成像、激光干涉测量系统搭建。

  全国样机试用渠道开放

  面向国内半导体升级、前沿光学科研发展需求,先锋泰坦持续引入海外成熟高端激光光源产品,依托全国本地化服务网络,降低客户前期设备选型、工艺验证门槛。本次 266nm 稳频连续激光器巡回演示活动长期开放样机测试通道,如需样机观摩、上门测试、产品选型及方案定制,可联系先锋泰坦各地办事处咨询对接。

  企业介绍

  关于德国CryLas:

  先锋泰坦作为德国CryLas公司全球明星代理商,可提供 CryLas 连续波深紫外激光器、小型纳秒脉冲激光器等产品的信息展示、选型咨询与方案对接,助力用户对接符合应用需求的德国原厂激光光源解决方案。

  关于先锋泰坦:

  聚焦光电前沿,深耕行业多年携手数百家国际光电企业,构建长期稳定合作;从光谱仪器,到全品类光电产品矩阵,专业覆盖光谱相关产品、激光器产品、激光测量产品、太赫兹产品、光度与色度产品、光学元器件、探测器产品等核心领域以多元产品与优质服务,赋能光电产业发展。

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